精密测量显微镜

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DZZ-1000半导体大视野工业显微镜

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DZZ-1000半导体大视野工业显微镜
概述:
新型的DZZ-1000 半导体大视野工业显微镜是为工程领域精准测量的迫切需要而进行的专业创制,产品能提供更多的系统功能选择与更高的操作性能,包括明视场、暗视场、偏振光、微分干涉相衬、工业荧光等显微观察模式,可配置手动或自动透反射工作平台与精密光栅数显影像检测系统,能够满足不同用户对新型检测能力的不断追求。
无限远光学成像与柯拉照明落射系统:
DZZ-1000 半导体大视野工业显微镜的品质来源于核心的光学成像与照明系统,产品采用优良的无限远长工作距离平场消色差物镜,大视野广角目镜,高亮度卤素灯或LED照明,可实现明视场、暗视场、偏振光、微分干涉相衬、工业荧光等显微观察功能,目视观察可选择正像观察模式,系统安装在精密线性导轨机构上,保存良好的运动与成像的稳定性。
精密工作移动平台与控制系统:
精准测量的精度与操作性能很大程度依赖于工作平台的制造精度与可控性。手动工作平台采用精密交叉滚柱导轨与直线引导机构,具有快/慢速离合功能,电动工作平台采用精密滚珠丝杆与步进电机传动,在有效移动范围内具有良好的运动与控制精度,可附加定位锁紧、旋转载物台等附件,满足不同用户需求。
测量数据显示与处理系统:
通过影像中的十字基准线与工作台光栅机构的相对移动,在数显屏上可观察到影像的实际运动量,可以减少因影像系统误差而出现测量偏差,满足手动精准测量用户的要求。
显微影像与光栅数据集成于测量分析软件时,可通过对步进电机的自动控制实现显微测量,满足在线用户的自动检测要求。
通过聚焦步进电机与垂直运动光栅机构可实现自动聚焦、影像合成及深度测量等。
基座:
基座充分考虑了整机的抗震性能要求,采用整体花岗岩精密加工及消应力处理,内置LED透射照明系统,控制面板前置,操作方便。
镜体升降机构:
镜体升降机构采用精密滚珠丝杆与直线引导机构,设置定位锁紧与变速缓冲装置,在升降调节过程中手感舒适,并可防止快速下滑而撞击物镜,通过机构的升降可观察厚度为0-200mm的样品。


 
DZZ-1000M标准配置(手动操控型)
 
部 件 技术规格与参数
基 座 花岗岩整体基座,外形尺寸:620mmX360mmX110mm
目 镜 10X大视野广角目镜,视场数Ф22mm
物 镜 类    型 放大倍率 数值孔径 工作距离(mm)
无限远明暗视场
平场消色差物镜
5X 0.12 8.4
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
50X 0.70 2.5
目镜筒 正像观察,双目瞳距调节范围:53~75mm,可100%推拉摄影
调焦机构 手动粗微动同轴调焦, 最小微动格值:0.002mm,粗动松紧可调,有效调焦范围0~8mm,轴向平面内的垂直度不大于0.05mm。
转换器  五孔明暗场转换器(螺纹规格:M26X0.705),附物镜转接头1个(转换螺纹规格:4/5″X1/36″)
工作平台  材质:优质灰铸铁,经时效消应力处理。
最大有效移动范围:200mmX200mm
纵横向移动垂直度不大于0.05mm/200mm(无负载测量)
玻璃工作台面与纵横向移动平面的平行度在有效观察范围内不大于0.03mm(无负载测量)
最大承载重量不大于10千克
数据处理器 DP-100数据处理器,可与计算机并行连接,同步光栅信号输出
示值误差不大于0.003mm,回程误差不大于0.005mm
工作电压:220V 50/60HZ
照明装置 落射照明采用12V50W卤素灯,亮度及中心位置可调
落射照明器内置孔径光阑、视场光阑、滤色片转换装置、明暗视场切换装置,偏光观察装置
透射照明采用高亮度白光LED灯,亮度可调

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